単体元素と遷移金属シリサイドのスパッタ速度
(Sputtering rate of some transition metal silicides; comparison with that of elements)
第20回表面分析研究会. 2003年02月17日-2003年02月18日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 03:07:51 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:39:09 +0900