PVD-SiC膜のH＋イオン照射による特性変化
(Property Changes of PVD-SiC Films caused by H＋ in Irradition)
日本原子学会. 1980-09-01.
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作成時刻: 2017-02-18 00:01:54 +0900 更新時刻: 2017-07-10 16:59:07 +0900