アルゴンエッチングによって薄膜化されたMoS2膜の層数識別
(Thickness identification of MoS2 thinned by Ar etching)
2014 Tsukuba Nanotechnology Symposium (TNS’14). 2014.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:08:14 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:55:45 +0900