パルス放電によるアセチレンプラズマ中でのプラズマイオン注入による炭素膜被覆
(Carbon coatings by plasma-based ion-implantation in acetylene plasma induced by pulse voltage)
金属学会2000年秋季大会. 2000年10月01日-2000年10月03日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:05:38 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:08:50 +0900