ＣＶＤ法による高品質beta-FeSi2薄膜
(beta-FeSi2 thin film prepared by CVD method)
第１回シリサイド系半導体研究会. 2001-11-06.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:26:34 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:20:11 +0900