パルス高電圧によるグロー放電プラズマを用いたPBⅡ法による炭素皮膜の作製
(Carbon coatings by a PBⅡ method with glow discharge plasma ignited high voltage pulses)
日本金属学会2000年春期大会. 2000年03月29日-2000年03月31日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:56:20 +0900 更新時刻: 2018-05-21 18:32:56 +0900