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プラズマジェットCVDによるc-BNの高速成膜

松本精一郎, ZHANG Wenju, 松本精一郎, ZHANG Wenju.
2000年春季第47回応用物理学関係連合講演会. 2000年03月28日-2000年03月30日.

NIMS著者


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      作成時刻: 2017-02-18 01:52:41 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:01:40 +0900

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