紫外レーザCVDによるSiC膜の合成.
(Synthesis of SiC Film by Photo CVD Using UV Laser.)
日本金属学会. 1990年09月25日-1990年09月27日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 00:19:42 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:10:42 +0900