HOME > 口頭発表 > 書誌詳細高周波マグネトロンスパッタリング法によるZnO 薄膜の極性制御(Polarity control of ZnO thin films by a RF Magnetron Sputtering Method)角田 啓, 大澤 健男, 大橋 直樹, 石垣隆正. 第62回応用物理学会春季学術講演会. 2015年03月11日-2015年03月14日.NIMS著者大澤 健男大橋 直樹Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-14 11:40:04 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:07:23 +0900