Microstructural Observation of Focused Ion Beam Modification of Silicide / Si Thin Films
(シリサイド/Si薄膜の集束イオンビームによる変態のミクロ組織観察)
Material Research Society 1996 Fal Meeting(MRS). 1996年12月02日-1996年12月06日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:11:16 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:39:43 +0900