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シリコン表面の酸化反応ポテンシャル曲面の計算
(Computational Study on the Potential Curcve of Si Surface Oxidation.)
電子情報通信学会 シリコン材料デバイス研究会. August 20, 1998-August 21, 1998.
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Created at: 2017-02-18 01:32:18 +0900 Updated at: 2017-07-10 17:50:30 +0900