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酸化によるシリコンの表面応力の変動
(Evolution of Surface Stress of Silicon during Oxidation )
第９回「超高純度材料における表面安定化と初期酸化」に関する研究開. June 30, 2000-July 01, 2000.
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Created at: 2017-01-08 04:49:19 +0900 Updated at: 2018-05-30 18:36:28 +0900