酸素プラズマによる四面体アモルファスカーボン表面層の制御
(Surface Layer Control of Tetrahedral Amorphous Carbon by Oxygen Plasma)
6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Sympos. 2006年01月24日-2006年01月27日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:06:36 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:26:11 +0900