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著者名S. Liang, T. Banno, KITAJIMA, Masahiro, ISHIOKA, Kunie, Y. Harada, Y. Mera, K. Maeda.
タイトルSurface Layer Control of Tetrahedral Amorphous Carbon by Oxygen Plasma
(酸素プラズマによる四面体アモルファスカーボン表面層の制御)
会議名6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Sympos
発表年2006
言語English
外部での文献参照

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