Non thermal/equilibrium effects in high power ICP and application to surface modification of materials
第15回プラズマ化学国際シンポジウム. 2001年07月09日-2001年07月13日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:08:21 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:39:21 +0900