Initial Plasma Oxidation Kinetics of Silicon :Dc Bias Effects
(シリコンの初期プラズマ酸化の速度論：DC バイアス効果)
13th International Vacuum Congress / 9th International Conferenc. 1995年09月25日-1995年09月29日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:06:56 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:33:52 +0900