シリコン表面の酸化反応におけるポテンシャル曲面の計算
(POTENTIAL ENERGY SURFACE CALCULATION FOR THE OXDATION OF SILICON SURFACE.)
1998年 秋季第59回 応用物理学会 学術講演会. 1998年09月15日-1998年09月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:29:54 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:50:36 +0900