Trace element analysis on Si wafers by TXRF at the ID32 ESRF beamline
(ESRFビームラインID32における全反射蛍光X線法によるシリコンウエハーの微量元素分析)
6th International Conference on Synchrotron Radiation Instrument. 1997年08月04日-1997年08月08日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 01:19:16 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:44:00 +0900