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ALD法によるアンドープおよびGaドープ ZnO薄膜の成長

平塚祐也, 小俣温, 斉藤幸喜, 牧野久雄, 岸本誠一, 山本哲也, 張 保平, 長田 実.
2005年(平成17年)秋季 第66回応用物理学会学術講演会. 2005.

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    作成時刻: 2017-01-08 04:35:41 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:26:12 +0900

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