不純物水素がアモルファス In-Ga-Zn-O の欠陥に及ぼす影響
(Effects of impurity hydrogen on subgap defects in amorphous In-Ga-Zn-O)
第76回応用物理学会秋季学術講演会. 2015.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 05:12:02 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:11:29 +0900