Quality Enhancement and Carbon Byproduct Suppression in MOCVD Growth of Monolayer WSe2
(MOCVD成長による単層WSe2の高品質化と炭素副生成物の抑制)
2026年 第87回 応用物理学会 秋季学術講演会. 2026年09月08日-2026年09月11日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-10-28 03:07:21 +0900 更新時刻: 2026-10-28 03:07:21 +0900