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中性粒子ビームによって作製したシリコンナノディスク構造の電気特性評価

久保田智広, 浦岡行治, 冬木隆, 竹口 雅樹, 寒川誠二, 西岡賢祐, 山下一郎.
第54回応用物理学関係連合講演会. 2007.

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    作成時刻: 2017-02-14 11:31:28 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:54:31 +0900

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