定量的イオンスパッタリングによるイオン照射下での表面組成回復速度の測定
(Measurements of Composition Recovery Rate Under Ion Etching by Quantitatively Controlled Sputtering)
表面界面分析に関する国際会議 第7回. 1997年06月16日-1997年06月20日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-01-08 04:41:24 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:41:09 +0900