TEM内での加熱による非晶質SiOからのSi粒子の生成
(Formation of crystalline Si nanoparticles by heating amorphous Si oxide in TEM)
日本電子顕微鏡学会第59回学術講演会. 2003年06月07日-2003年06月09日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 03:17:28 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:42:12 +0900