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マイクロ波プラズマCVDによるBF3からのc-BN合成

松本精一郎, ZHANG Wenju, 松本精一郎, ZHANG Wenju.
2001年春季第48回応用物理学関係連合講演会. 2001年03月28日-2001年03月30日.

NIMS著者


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      作成時刻: 2017-02-14 11:43:24 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:11:59 +0900

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