UHV-TEM/STMによるSi上シリサイドアイランドのその場評価
(In-situ characterization of silicide islands on Si substrates using UHv-TEM/STM integrated characterization system)
第6回シリサイド系半導体研究会. 2004-09-04. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:37:52 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:40:16 +0900