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プラズマCVD法によるPZT極薄膜の作製と評価

西田謙, 白方健, 松岡学, 長田 実, 垣花眞人, 河東田隆.
2004年第51回春季応用物理学会関連講演会. 2004.

NIMS著者


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    作成時刻: 2017-01-08 03:37:11 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:14:35 +0900

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