低摩擦化ためにCl+注入されたTiN膜の表面分析
(Surface analysis study on the effect of Cl+ implantation for low friction TiN film)
Practical Surface Analysis 01. 2001年11月19日-2001年11月21日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:18:37 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:15:47 +0900