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MgO(100)基板上のYSZ膜のエピタキシャル成長に及ぼす方向性イオン照射効果
(Effects of Directional Ar+ Ion Flux Bombardment on the Epitaxial Growth of YSZ on MgO(100))

福富勝夫, 斎藤正和, 小森 和範, 福富勝夫, 斎藤正和.
応用物理学関係連合講演会 第44回. 1997年03月28日-1997年03月31日.

NIMS著者


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    作成時刻: 2017-02-18 01:12:17 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:40:17 +0900

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