Clイオン打ち込みによるTiN膜の低摩擦化のメカニズム
(The mechanism of reduced friction coefficient with Cl ion implantation to TiN films)
真空協会連合講演会. 2002年10月16日-2002年10月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:54:20 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:32:50 +0900