HOME > Presentation > Detail
原子スイッチの Cu 配線中への形成
(Atomic Switch embedded into Cu interconnect)
2009年秋季 第70回応用物理学会学術講演会. September 08, 2009-September 11, 2009.
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2017-02-14 11:22:02 +0900Updated at: 2017-07-10 20:31:45 +0900