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高周波マグネトロンスパッタリング法を用いたペロブスカイト型ランタンチタン酸窒化物の製膜
2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会 . September 05, 2017-September 08, 2017.
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Created at: 2017-11-03 22:48:01 +0900Updated at: 2018-06-05 14:13:52 +0900