２次元層状MoS2トランジスタ形成プロセスの検討
(Investigation of Device Fabrication Processes for Ultra-thin MoS2 Transistors)
2013年第60回応用物理学会春季学術講演会. 2013.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:05:12 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:32:54 +0900