ピエゾ抵抗カンチレバーセンサーの構造最適化による超高感度膜型表面応力センサー（MSS）
(Optimization of piezoresistive cantilever sensors towards highly sensitive membrane-type surface stress sensors (MSS))
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会. 2011.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:50:29 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:02:22 +0900