TIGHT-BINDING 分子動力学法を用いたシリコン酸化過程のダイナミックス
(TIGHT-BINDING MOLECULAR DYNAMICS SIMULATION OF SI OXIDATION.)
1998年 秋季 第59回 応用物理学会 学術講演会. 1998年09月15日-1998年09月18日.
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作成時刻: 2017-01-08 03:30:45 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:50:34 +0900