RF/DCイオンプレーティングによる窒化チタン膜の特性
(Properities of TiN Films Synthesized by RF/DC Ion Plating)
金属表面技術. 1984-03-01.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 00:06:30 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:02:26 +0900