シリコンのプラズマ表面相互作用誘起表面応力
(Surface stress of silicon induced by plasma-surface interactions)
44th National Symposium of Americal Vaccum Society. 1997年10月20日-1997年10月24日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:50:55 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:45:06 +0900