Patterned Ion Implantation to Insulators by Using Stencil Masks of Si Thin Film and Porous Alumina
(Si薄膜及び多孔質アルミナのステンシルマスクを用いた絶縁体へのパターンイオン注入)
IUMRS Int. Conf. in Asia 2008, IUMRS-ICA2008. 2008年12月09日-2008年12月13日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 12:06:39 +0900更新時刻: 2022-09-05 12:06:39 +0900