1.5 MPa まで加圧された超流動ヘリウム中におけるシリコン圧力センサーの特性
(Characteristics of silicon pressure sensor in superfluid helium)
2001年秋季低温工学・超電導学会. 2001年11月23日-2001年11月25日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:29:18 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:21:15 +0900