NF3とシリコン相互作用に関する量子化学的検討
(OUANTUM CHEMICAL STUDY ON THE INTERACTION OF NF3 WITH SI.)
SSDM'98(INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID STATE DEVICES AND MATE. 1998年09月07日-1998年09月10日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:06:15 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:50:30 +0900