薄膜A/薄膜B/基板Cにおける内部金属間化合物(A-C)形成とその基板リサイクルへの可能性
(Interual intermetallic compound (A-C) formation in filmA/firmB/substrateC and its potemticl for substrate u;terial recy cling)
日本金属学会. 1999年11月20日-1999年11月22日.
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作成時刻: 2017-01-08 04:18:25 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:58:29 +0900