イオンビーム照射によって作製した窒化チタン膜における表面構造とStrainとの相関性
(Correlation of Surface Structure and Strain in Ion Beam Processed TiN Films)
10th International Conference on Thin Films and 5th European Vac. 1996年09月23日-1996年09月27日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:16:23 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:38:24 +0900