フッ素を含むガス系からの立方晶窒化ホウ素膜のプラズマ化学気相合成
(Plasma-assisted CVD of c-BN films in fluorine containing gas systems)
12th European Conference on Diamond and Related Materials. 2001年09月02日-2001年09月07日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:05:41 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:39:23 +0900