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水素含有スパッタガス中で作成したITO膜の特性

岡田浩一, 羅蘇寧, 古曵重美, 三留 正則, 下岡弘和, 生地文也, 宍戸統悦.
2009年秋季 第70回応用物理学会学術講演会. 2009.

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    作成時刻: 2017-01-08 03:24:12 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:31:49 +0900

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