RFバイアススパッタによる絶縁体基板上の面内配向薄膜の作製
(Preparation of In-plane Textured Thin Films on Insulating Substrates by Modified RFBias Sputtering)
表面技術協会講演大会. 1996年03月21日-1996年03月23日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:03:08 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:35:35 +0900