電子線マイクロリングラフィー技術とそのマイクロマグネティックスへの応用
(Electron-beam Microlithography and its Applicaticn to micromagnetics )
日本応用磁気学会 光マグネティックス研究会「微細加工技術と磁性」. 1995-01-17.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:28:52 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:31:23 +0900