イオン注入とイオンビーム微細加工下での透過型電子顕微鏡法の性能
(Performance of transmission electron microscopy during Ion implantation and Ion beam lithography)
ASU Winter Workshop "In-situ Electron Microscopy". 1998-01-07.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:21:13 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:46:40 +0900