次世代透明半導体・高密度窒化ホウ素の プラズマ・レーザによる低コスト合成法
(Fundamental studies on the low-cost production of high-density BN films by laser-plasma synchronous vapor deposition methods for the next-generation transparent wide bandgap semiconductor materials )
招待講演
新学術領域「プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成」. 2014. NIMS著者
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作成時刻 :2017-02-14 11:40:01 +0900 更新時刻 :2024-03-05 11:45:34 +0900