強磁性金属薄膜および導電性金属薄膜の反応性イオンエッチングによる微細加工
(Microfabrications by Reactive-Ion-Etching Methods on Ferromagnetic Films or Other Metal Films)
東北大学電気通信研究所(COE)スピニクス研究会/電気学会マグネティク. 1998年12月14日-1998年12月16日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:41:05 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:55:25 +0900