Coordination and interface analysis of high-k material, Al2O3/Si(001), using spatially-resolved EELS
EMC2004, 13th European Microscopy Congress. 2004年08月22日-2004年08月27日.
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作成時刻: 2022-09-05 11:32:27 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:32:27 +0900