Effect of oxygen source and buffer layer on crystal structure and electric property of ZnO films grown by pulsed laser depositio
(PLD法により作製されたZnO薄膜の結晶構造と電気特性に酸素源とバッファレイヤーが及ぼす影響)
第22回電子材料研究討論会. 2002年10月24日-2002年10月25日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:16:27 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:16:27 +0900